Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники — Раскрывается технологический аспект сенсорики, приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нанотехнологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Приведены примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов, в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных, пьезоэлектрических, магнитных) сенсорных материалов. Предназначено для студентов Института инженерной физики и радиоэлектроники СФУ, магистров и аспирантов, обучающихся по курсу «Современные технологии микро- и наноэлектроники», а также инженеров, специалистов и ученых, работающих в области технологии сенсоров.
Содержание:
Предисловие Виды сенсоров Химические сенсоры Физические сенсоры Газоанализаторы Химические газовые сенсоры Металлооксидные сенсоры Химические сенсоры на основе оксида олова Сенсорные свойства SnO2/Cu Сенсорные свойства SnO2/Pt, Pd, Au Сенсорные свойства SnO2/Ni Сенсорные свойства SnO2/Sb Сенсорные свойства SnO2/Cr ,W, Zn Сенсорные свойства SnO2/La2O3, In2O3 Химические сенсоры на основе оксида титана Химические сенсоры на основе оксида индия Электрохимические сенсоры Электрохимические сенсоры на основе ZrO2 Новые электродные материалы электрохимических сенсоров Электрохимические сенсоры на полевых транзисторах Характеристики газового сенсора Температурная зависимость электропроводности газового сенсора Микроструктура сенсорных пленок Чувствительность и быстродействие газового сенсора Экспериментальная установка для исследования быстродействия и газочувствительности оксидных сенсоров Селективность сенсоров Микроэлектронные датчики Активные и пассивные датчики Активные датчики Пассивные датчики Комбинированные датчики Полупроводниковые твердотельные датчики Мультиcенсорные системы Линейка сенсоров Обработка сигналов и распознавание образов Конструкция мультисенсорных систем Микроконструирование датчиков Классификация структур сенсоров Соединение микроконструкции с корпусом Метод микроконструирования Особенности проектирования датчиков для биомедицинских применений Магнитометрические датчики Магнитооптический датчик утечек метана Феррозонды Магнитные датчики для измерения толщины и расхода Композиционные магнитоэлектрические датчики магнитного поля Пьезоэлектрические датчики Химические сенсоры на поверхностных акустических волнах Многофункциональные микроэлектронные преобразователи на ПАВ Акустооптический сенсор для систем типа «электронный нос» Пьезоэлектрические биосенсоры Ультразвуковые сенсоры Оптические сенсоры Интегрально-оптический датчик для контроля опасных газовых веществ Мониторинг охраняемых периметров и угловых перемещений Сенсоры температуры ВОДТ-датчик температуры Современные технологии создания сенсорных элементов Нанотехнология в сенсорике Экстракционно-пиролитический метод получения сенсорных материалов Газочувствительные свойства наночастиц палладия Наноразмерные сенсоры на основе диоксида олова Нанопроволоки металлооксидов как сенсоры газов Новое изготовление SnO2 нанопроволочного газового датчика с высокой чувствительностью Сенсор на основе опаловых матриц Получение полых сфер на углеродистых матрицах Формирование однокристальных мультисенсорных микросистем на основе газочувствительной пленки SnO2 236 Однокристальные мультисенсорные системы на основе оксидных нановолокон «Электронный язык» и «электронный нос» Заключение Библиографический список Контрольные вопросы
Кратко рассмотрены элементы метрологии, используемые в микросенсорике. Подробно рассмотрены основные твердотельные датчики, используемые преимущественно в наукоемких областях (точная механика и оптика, микро- и наноэлектроника, атомная энергетика, военное дело): датчики на основе гальваномагнитных эффектов, датчики давления, температуры и теплового ...
В обзоре представлены сведения о газовых датчиках фирмы «Figaro». Рассматриваются датчики, различающиеся типом детектируемых газов (взрывоопасные, токсичные, и т. д.), принципом работы, материалом и конструкцией. Приведены параметры и основные характеристики датчиков. Помимо самих газовых датчиков рассматриваются устройства для их подключения и уст ...
В монографии описаны конструкционные материалы и изделия на их основе, применяемые в подземном строительстве, не связанном с добычей полезных ископаемых. Приведены основные свойства, общие требования к конструкционным материалам, сведения по технологии их производства и номенклатуре.
Предметом данного учебного пособия является кремниевая наноэлектроника, под которой понимают электронику на основе кремниевых наноразмерных МОП-транзисторов. Книга предназначена, в первую очередь, студентам, специализирующимся в области микро- и наноэлектроники.
Данный материал НЕ НАРУШАЕТ авторские права никаких физических или юридических лиц. Если это не так - свяжитесь с администрацией сайта. Материал будет немедленно удален. Электронная версия этой публикации предоставляется только в ознакомительных целях. Для дальнейшего её использования Вам необходимо будет приобрести бумажный (электронный, аудио) вариант у правообладателей.
Название: 
Распечатать
